檢驗液晶基板內幾十um厚度的薄膜紋路，根據需要用激光照射來(lái)清除微小紋路的修復系統?？杉庸ご笮鸵壕Щ?，設備整體為龍門(mén)式結構。另外，在加工頭上裝有高倍攝像頭，用于確認加工情況。

直線(xiàn)電機的應用

• 直線(xiàn)電機以及間距誤差修正帶來(lái)的高剛性龍門(mén)驅動(dòng)

• 增益調整功能同時(shí)確保加工時(shí)（低速）的XY直線(xiàn)插補的軌跡準確，以及快進(jìn)（高速）時(shí)的穩定性。

• 加工時(shí)的魯棒干擾控制功能可抑制電纜干擾引起的速度波動(dòng)